THEIA 是一款高性能，穩定，靈活，可靠且安全的研發型原子層沉積系統，兼具工業生產解決方案的優勢。THEIA 可進行升級改造，從而滿足科學研究的各種需求，并實現從“研發”到“生產”的無縫銜接?！舅幬锓勰┌病?/p>